Die algemeen gebruikte halfgeleierdruksensor gebruik N-tipe silikonwafel as die substraat.Eerstens word die silikonwafel gemaak in 'n elastiese spanningdraende deel met 'n sekere geometrie.By die spanningdraende deel van die silikonwafel word vier P-tipe diffusieweerstande langs verskillende kristalrigtings gemaak, en dan word 'n vierarm Wheatstone-brug met hierdie vier weerstande gevorm.Onder die werking van eksterne krag word die veranderinge van weerstandswaardes elektriese seine.Hierdie koringsteenbrug met drukeffek is die hart van die druksensor, wat gewoonlik piëzoresistiewe brug genoem word (soos in Figuur 1 getoon).Die kenmerke van piëzoresistiewe brug is soos volg: ① die weerstandswaardes van die vier arms van die brug is gelyk (almal r0);② Die piëzoresistiewe effek van aangrensende arms van die brug is gelyk in waarde en teenoorgestelde in teken;③ Die weerstandstemperatuurkoëffisiënt van die vier arms van die brug is dieselfde, en hulle is altyd by dieselfde temperatuur.In fig.1, R0 is die weerstandswaarde sonder spanning by kamertemperatuur;RT is die verandering wat veroorsaak word deur die temperatuurkoëffisiënt van weerstand (α) wanneer die temperatuur verander;Υ Rδ is die verandering van weerstand wat veroorsaak word deur spanning (ε);Die uitsetspanning van die brug is u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (konstante stroombronbrug).

Waar I0 konstante stroombronstroom is en e konstante spanningbronspanning is.Die uitsetspanning van die piëzoresistiewe brug is direk eweredig aan die spanning (ε) en het niks te doen met RT wat veroorsaak word deur die temperatuurkoëffisiënt van weerstand nie, wat die temperatuurverdryf van die sensor aansienlik verminder.Die mees gebruikte halfgeleierdruksensor is 'n sensor om vloeistofdruk op te spoor.Sy hoofstruktuur is 'n kapsule gemaak van monokristallyne silikon (soos in Figuur 2 getoon).Die diafragma word in 'n beker gemaak, en die onderkant van die beker is die deel wat die eksterne krag dra, en die drukbrug word op die onderkant van die beker gemaak.Die ringvoetstuk is gemaak van dieselfde silikon-enkelkristalmateriaal, en dan word die diafragma aan die voetstuk gebind.Hierdie soort druksensor het die voordele van hoë sensitiwiteit, klein volume en stewigheid, en is wyd gebruik in lugvaart, ruimtenavigasie, outomatiseringsinstrumente en mediese instrumente.