Halfgeleier druksensors kan in twee kategorieë verdeel word, een is gebaseer op die beginsel dat I-υ eienskappe van halfgeleier PN aansluiting (of schottky aansluiting) verander onder spanning.Die werkverrigting van hierdie druksensitiewe element is baie onstabiel en is nie baie ontwikkel nie.Die ander is die sensor gebaseer op halfgeleier piëzoresistiewe effek, wat is die belangrikste verskeidenheid van halfgeleier druk sensor.In die vroeë dae was halfgeleier-rekmeters meestal aan elastiese elemente geheg om verskeie spanning- en rek-meetinstrumente te maak.In 1960's, met die ontwikkeling van halfgeleier-geïntegreerde stroombaantegnologie, het 'n halfgeleierdruksensor met diffusieweerstand as piëzoresistiewe element verskyn.Hierdie soort druksensor het 'n eenvoudige en betroubare struktuur, geen relatiewe bewegende dele nie, en die druksensitiewe element en elastiese element van die sensor is geïntegreer, wat meganiese vertraging en kruip vermy en die werkverrigting van die sensor verbeter.

Piëzoresistiewe effek van halfgeleier Halfgeleier het 'n eienskap wat verband hou met eksterne krag, dit wil sê die weerstand (verteenwoordig deur simbool ρ) verander met die spanning wat dit dra, wat piëzoresistiewe effek genoem word.Die relatiewe verandering van weerstand onder die werking van eenheidspanning word piëzoresistiewe koëffisiënt genoem, wat deur die simbool π uitgedruk word.Wiskundig uitgedruk as ρ/ρ = π σ.

Waar σ spanning voorstel.Die verandering van weerstandswaarde (R/R) wat deur halfgeleierweerstand onder spanning veroorsaak word, word hoofsaaklik deur die verandering van weerstand bepaal, dus kan die uitdrukking van piëzoresistiewe effek ook geskryf word as R/R=πσ.

Onder die werking van eksterne krag word sekere spanning (σ) en vervorming (ε) in halfgeleierkristalle gegenereer, en die verhouding tussen hulle word bepaal deur Young se modulus (Y) van die materiaal, dit wil sê Y=σ/ε.

As die piëzoresistiewe effek deur die spanning op die halfgeleier uitgedruk word, is dit R/R=Gε.

G word die sensitiwiteitsfaktor van druksensor genoem, wat die relatiewe verandering van weerstandswaarde onder eenheidsspanning verteenwoordig.

Piëzoresistiewe koëffisiënt of sensitiwiteitsfaktor is die basiese fisiese parameter van halfgeleier piëzoresistiewe effek.Die verhouding tussen hulle, net soos die verhouding tussen spanning en vervorming, word bepaal deur die Young se modulus van die materiaal, dit wil sê g = π y.

As gevolg van die anisotropie van halfgeleierkristalle in elastisiteit, verander Young se modulus en piëzoresistiewe koëffisiënt met kristaloriëntasie.Die grootte van halfgeleier piëzoresistiewe effek is ook nou verwant aan die weerstand van halfgeleier.Hoe laer die weerstand, hoe kleiner is die sensitiwiteitsfaktor.Die piëzoresistiewe effek van diffusieweerstand word bepaal deur die kristaloriëntasie en onsuiwerheidskonsentrasie van diffusieweerstand.Die onsuiwerheidskonsentrasie verwys hoofsaaklik na die oppervlakonsuiwerheidskonsentrasie van die diffusielaag.