Die algemeen gebruikte halfgeleierdruksensor gebruik n-tipe silikonplaat as die substraat. Eerstens word die silikonplaat gemaak in 'n elastiese spanningsdraende deel met 'n sekere meetkunde. By die spanningsdraende deel van die silikonplaat word vier P-tipe diffusieweerstande langs verskillende kristalrigtings gemaak, en dan word 'n vierarm koringsteenbrug gevorm met hierdie vier weerstande. Onder die werking van eksterne krag word die veranderinge van weerstandswaardes elektriese seine. Hierdie koringsteenbrug met drukeffek is die hart van die druksensor, wat gewoonlik piëzoresistiewe brug genoem word (soos getoon in Figuur 1). Die kenmerke van die piëzoresistiewe brug is soos volg: ① Die weerstandswaardes van die vier arms van die brug is gelyk (alles R0); ② Die piëzoresistiewe effek van aangrensende arms van die brug is gelyk in waarde en teenoorgestelde in teken; ③ Die weerstandstemperatuurkoëffisiënt van die vier arms van die brug is dieselfde, en hulle is altyd op dieselfde temperatuur. In Fig. 1, R0 is die weerstandswaarde sonder spanning by kamertemperatuur; RT is die verandering wat veroorsaak word deur die temperatuurkoëffisiënt van weerstand (α) wanneer die temperatuur verander; Υ rδ is die verandering van weerstand wat veroorsaak word deur spanning (ε); Die uitsetspanning van die brug is U = I0 Δ rδ = I0RGδ (konstante stroombronbrug).

Waar i0 konstante stroombron is en E konstante spanningsbronspanning is. Die uitsetspanning van die piëzoresistiewe brug is direk eweredig aan die stam (ε) en het niks te doen met RT wat veroorsaak word deur die temperatuurkoëffisiënt van weerstand nie, wat die temperatuurdrywing van die sensor aansienlik verminder. Die mees gebruikte halfgeleierdruksensor is 'n sensor vir die opsporing van vloeistofdruk. Die hoofstruktuur daarvan is 'n kapsule van monokristallyne silikon (soos getoon in Figuur 2). Die diafragma word in 'n koppie gemaak, en die onderkant van die beker is die deel wat die eksterne krag dra, en die drukbrug word aan die onderkant van die beker gemaak. Die ring voetstuk is van dieselfde silikon -enkelkristalmateriaal, en dan word die diafragma aan die voetstuk gebind. Hierdie soort druksensor het die voordele van hoë sensitiwiteit, klein volume en soliditeit, en is wyd gebruik in lugvaart, ruimtevaart, outomatiseringsinstrumente en mediese instrumente.