Halfgeleierdruksensors kan in twee kategorieë verdeel word, een is gebaseer op die beginsel dat I-° -kenmerke van die halfgeleier PN-aansluiting (of Schottky Junction) onder spanning verander. Die prestasie van hierdie druksensitiewe element is baie onstabiel en is nie baie ontwikkel nie. Die ander is die sensor gebaseer op halfgeleier piëzoresistiewe effek, wat die grootste verskeidenheid halfgeleierdruksensor is. In die vroeë dae was halfgeleierspanmeters meestal aan elastiese elemente geheg om verskillende stres- en stammetingsinstrumente te maak. In die 1960's, met die ontwikkeling van halfgeleier -geïntegreerde kringtegnologie, het 'n halfgeleierdruksensor met diffusieweerstand as piëzoresistiewe element verskyn. Hierdie soort druksensor het 'n eenvoudige en betroubare struktuur, geen relatiewe bewegende dele nie, en die druksensitiewe element en elastiese element van die sensor word geïntegreer, wat meganiese vertraging vermy en kruip en die werkverrigting van die sensor verbeter.

Piëzoresistiewe effek van halfgeleier halfgeleier het 'n kenmerk wat verband hou met eksterne krag, dit wil sê die weerstand (voorgestel deur simbool ρ) verander met die spanning wat dit dra, wat piëzoresistiewe effek genoem word. Die relatiewe verandering van weerstand onder die werking van eenheidspanning word piëzoresistiewe koëffisiënt genoem, wat deur die simbool π uitgedruk word. Wiskundig uitgedruk as ρ/ρ = π σ.

Waar σ spanning voorstel. Die verandering van weerstandswaarde (r/r) wat veroorsaak word deur halfgeleierweerstand onder spanning word hoofsaaklik bepaal deur die verandering van weerstand, dus kan die uitdrukking van piëzoresistiewe effek ook geskryf word as r/r = πσ.

Onder die werking van eksterne krag word sekere spanning (σ) en stam (ε) in halfgeleierkristalle gegenereer, en die verhouding tussen hulle word bepaal deur Young se modulus (y) van die materiaal, dit wil sê y = σ/ε.

As die piëzoresistiewe effek uitgedruk word deur die stam op die halfgeleier, is dit r/r = gε.

G word die sensitiwiteitsfaktor van druksensor genoem, wat die relatiewe verandering van weerstandswaarde onder eenheidspanning verteenwoordig.

Piëzoresistiewe koëffisiënt of sensitiwiteitsfaktor is die basiese fisiese parameter van halfgeleier piëzoresistiewe effek. Die verhouding tussen hulle, net soos die verhouding tussen spanning en spanning, word bepaal deur die Young se modulus van die materiaal, dit wil sê g = π y.

As gevolg van die anisotropie van halfgeleierkristalle in elastisiteit, verander Young se modulus en piëzoresistiewe koëffisiënt met kristaloriëntasie. Die omvang van halfgeleier piëzoresistiewe effek is ook nou verwant aan die weerstand van halfgeleier. Hoe laer die weerstand, hoe kleiner is die sensitiwiteitsfaktor. Die piëzoresistiewe effek van diffusieweerstandigheid word bepaal deur die kristaloriëntasie en die onreinheidskonsentrasie van diffusieweerstandigheid. Die onreinheidskonsentrasie verwys hoofsaaklik na die oppervlak -onreinheidskonsentrasie van die diffusielaag.