Van toepassing op Passat brandstof common rail druksensor 06E906051K

1. 'n Metode vir die vorming van 'n druksensor, wat bestaan ​​uit:

Voorsiening van 'n halfgeleiersubstraat, waarin 'n eerste tussenlaag diëlektriese laag, 'n eerste tussenlaag diëlektriese laag en 'n tweede tussenlaag diëlektriese laag op die halfgeleiersubstraat gevorm word.

'n Onderste elektrodeplaat in die eerste tussenlaag diëlektriese laag, 'n eerste onderlinge elektrode wat op dieselfde laag as die onderste elektrodeplaat geleë is en uitmekaar gespasieer is.

Verbindende lae;

Vorm 'n offerlaag bo die onderste poolplaat;

Die vorming van 'n boonste elektrodeplaat op die eerste tussenlaag diëlektriese laag, die eerste interkonneksielaag en die offerlaag;

Na die vorming van die offerlaag en voor die vorming van die boonste plaat, in die eerste interkonneksielaag

Vorm 'n verbindingsgroef, en vul die verbindingsgroef met die boonste plaat om elektries met die eerste interkonneksielaag te verbind;Of,

Nadat die boonste elektrodeplaat gevorm is, word verbindingsgroewe in die boonste elektrodeplaat en die eerste onderlinge verbindingslaag gevorm, wat

Die vorming van 'n geleidende laag wat die boonste elektrodeplaat en die eerste interkonneksielaag in die verbindingsgroef verbind;

Nadat die boonste plaat en die eerste verbindingslaag elektries verbind is, is die offerlaag verwyder om 'n holte te vorm.

2. Metode vir die vorming van 'n druksensor volgens conclusie 1, waarin in die eerste laag

Die metode vir die vorming van die offerlaag op die tussenlaag diëlektriese laag bestaan ​​uit die volgende stappe:

Deponering van 'n offermateriaallaag op die eerste tussenlaag diëlektriese laag;

Patroon van die offermateriaallaag om 'n offerlaag te vorm.

3. Metode vir die vorming van die druksensor volgens conclusie 2, waarin fotolitografie en gravering gebruik word.

Die offermateriaallaag word deur etsproses gevorm.

4. Metode vir die vorming van 'n druksensor volgens conclusie 3, waarin die offerlaag

Die materiaal is amorfe koolstof of germanium.

5. Metode vir die vorming van 'n druksensor volgens conclusie 4, waarin die offerlaag

Die materiaal is amorfe koolstof;

Etsgasse wat gebruik word in die proses om die offermateriaallaag te ets sluit O2, CO, N2 en Ar in;

Die parameters in die proses om die offermateriaallaag te ets is: die vloeibereik van O2 is 18 SCCM ~ 22 SCCM, en die vloeitempo van CO is 10%.

Die vloeitempo wissel van 90 SCCM tot 110 SCCM, die vloeitempo van N2 wissel van 90 SCCM tot 110 SCCM, en die vloeitempo van Ar.

Die reeks is 90 SCCM ~ 110 SCCM, die drukreeks is 90 mtor ~ 110 mtor, en die voorspanningskrag is

540w tot 660w.