Van toepassing op Passat Fuel Common Rail Pressure Sensor 06E906051K
Produk Inleiding
1. 'n Metode om 'n druksensor te vorm, wat bestaan uit:
Die verskaffing van 'n halfgeleiersubstraat, waarin 'n eerste tussenlaag -diëlektriese laag, 'n eerste tussenlaag -diëlektriese laag en 'n tweede tussenlaag -diëlektriese laag op die halfgeleier -substraat gevorm word.
'N Laer elektrodeplaat in die eerste diëlektriese laag tussenlaag, 'n eerste onderlinge elektrode op dieselfde laag as die onderste elektrodeplaat en van mekaar gespasieer.
Verbindingslae;
Die vorming van 'n offerlaag bo die onderste poolplaat;
Die vorming van 'n boonste elektrodeplaat op die eerste tussenlaag -diëlektriese laag, die eerste interkonneksielaag en die opofferingslaag;
Nadat u die opofferingslaag gevorm het en voordat u die boonste plaat vorm, in die eerste interkonneksielaag
Die vorming van 'n verbindingsgroef en die vul van die verbindingsgroef met die boonste plaat om elektries aan te sluit met die eerste interkonneksielaag; Of,
Nadat u die boonste elektrodeplaat gevorm het, word verbindingsgroewe gevorm in die boonste elektrodeplaat en die eerste interkonneksielaag, wat
Vorm 'n geleidende laag wat die boonste elektrodeplaat en die eerste interkonneksielaag in die verbindingsgroef verbind;
Nadat u die boonste plaat en die eerste interkonneksielaag elektries verbind het, verwyder die offerlaag om 'n holte te vorm.
2. Die metode om 'n druksensor te vorm volgens eis 1, waarin in die eerste laag
Die metode om die opofferingslaag op die tussenlaag -diëlektriese laag te vorm, bevat die volgende stappe:
'N offermateriaallaag op die eerste diëlektriese laag tussenlaag neer te lê;
Die opofferingsmateriaallaag te patroon om 'n offerlaag te vorm.
3. Die metode om die druksensor te vorm volgens eis 2, waarin fotolithografie en gravering gebruik word.
Die offermateriaallaag word gevorm deur etsproses.
4. Die metode om 'n druksensor te vorm volgens eis 3, waarin die offerlaag
Die materiaal is amorfe koolstof of germanium.
5. Die metode om 'n druksensor te vorm volgens eis 4, waarin die offerlaag
Die materiaal is amorfe koolstof;
Etsgasse wat gebruik word in die ets van die offermateriaallaag, is O2, CO, N2 en AR;
Die parameters in die proses van ets Die offermateriaallaag is: die vloei -reeks van O2 is 18 SCCM ~ 22 SCCM, en die vloeitempo van CO is 10%.
Die vloeitempo wissel van 90 SCCM tot 110 SCCM, die vloeitempo van N2 wissel van 90 SCCM tot 110 SCCM, en die vloeitempo van AR.
Die reeks is 90 SCCM ~ 110 SCCM, die drukbereik is 90 mtor ~ 110 mtor, en die vooroordeelkrag is
540W ～ 660W。
Produkprent
Maatskappybesonderhede
Maatskappyvoordeel
Vervoer
Vrae
Verwante produkte
