Geskik vir Hitachi KM11 oliedruksensor EX200-2-3-5

Vier druktegnologieë van druksensor

1. Kapasitief

kapasitiewe druksensors word gewoonlik bevoordeel deur 'n groot aantal OEM professionele toepassings. Deur kapasitansieveranderinge tussen twee oppervlaktes op te spoor, stel hierdie sensors in staat om uiters lae druk- en vakuumvlakke te waarneem. In ons tipiese sensorkonfigurasie bestaan ​​'n kompakte behuising uit twee nougespasiëerde, parallelle en elektries geïsoleerde metaaloppervlakke, waarvan een in wese 'n diafragma is wat effens onder druk kan buig. Hierdie stewig vaste oppervlaktes (of plate) is so gemonteer dat die buiging van die samestelling die gaping tussen hulle verander (wat eintlik 'n veranderlike kapasitor vorm). Die gevolglike verandering word opgespoor deur 'n sensitiewe lineêre vergelykerkring met (of ASIC), wat 'n proporsionele hoëvlaksein versterk en uitstuur.

2.CVD tipe

chemiese dampneerslag (of "CVD") vervaardigingsmetode bind polisiliconlaag aan vlekvrye staal diafragma op molekulêre vlak, en produseer dus sensor met uitstekende langtermyn-dryfverrigting. Algemene bondelverwerking halfgeleier-vervaardigingsmetodes word gebruik om polisilicon rekmeter-brûe met uitstekende werkverrigting teen 'n baie billike prys te skep. CVD-struktuur het uitstekende kosteprestasie en is die gewildste sensor in OEM-toepassings.

3. Sputterende film tipe

Sputterende filmafsetting (of "film") kan 'n sensor skep met maksimum gekombineerde lineariteit, histerese en herhaalbaarheid. Die akkuraatheid kan so hoog as 0,08% van volskaal wees, terwyl die langtermyndrywing so laag as 0,06% van volskaal elke jaar is. Buitengewone prestasie van sleutelinstrumente - ons gesputterde dunfilmsensor is 'n skat in die drukwaarnemingsbedryf.

4.MMS tipe

Hierdie sensors gebruik mikro-gemasjineerde silikon (MMS) diafragma om drukveranderinge op te spoor. Die silikon diafragma word van die medium geïsoleer deur die olie-gevulde 316SS, en hulle reageer in serie met die proses vloeistof druk. MMS-sensor gebruik algemene halfgeleiervervaardigingstegnologie, wat hoëspanningweerstand, goeie lineariteit, uitstekende termiese skokprestasie en stabiliteit in 'n kompakte sensorpakket kan bereik.