Struktuur van piëzoresistiewe sensor

In hierdie sensor word die weerstandstrook op die monokristallyne silikondiafragma geïntegreer deur integrasieproses om 'n silikon piëzoresistiewe skyfie te maak, en die omtrek van hierdie skyfie is vas in die dop verpak, en die elektrodeleidings word uitgelei. Piëzoresistiewe druksensor, ook bekend as vastestofdruksensor, verskil van kleefspanningmeter, wat die eksterne krag indirek deur elastiese sensitiewe elemente moet voel, maar die gemete druk direk deur silikondiafragma voel.

Die een kant van die silikondiafragma is 'n hoëdrukholte wat met die gemete druk kommunikeer, en die ander kant is 'n laedrukholte wat met die atmosfeer kommunikeer. Oor die algemeen is die silikondiafragma ontwerp as 'n sirkel met vaste omtrek, en die verhouding van deursnee tot dikte is ongeveer 20 ~ 60. Vier P onsuiwerheidsweerstandstroke word plaaslik op die sirkelvormige silikondiafragma versprei en in 'n volle brug verbind, waarvan twee is in die drukspanningsone en die ander twee is in die trekspanningsone, wat simmetries is met betrekking tot die middel van die diafragma.

Daarbenewens is daar ook vierkantige silikon diafragma en silikon kolom sensor. Die silikon silindriese sensor is ook gemaak van weerstandstroke deur diffusie in 'n sekere rigting van 'n kristalvlak van die silikonsilinder, en twee trekspanningweerstandstroke en twee drukspanningweerstandige stroke vorm 'n volle brug.

Piëzoresistiewe sensor is 'n toestel wat gemaak word deur diffusieweerstand op die substraat van halfgeleiermateriaal volgens die piëzoresistiewe effek van halfgeleiermateriaal. Sy substraat kan direk as 'n meetsensor gebruik word, en die diffusieweerstand word in die substraat in die vorm van 'n brug verbind.

Wanneer die substraat deur eksterne krag vervorm word, sal die weerstandswaardes verander en die brug sal ooreenstemmende ongebalanseerde uitset produseer. Die substrate (of diafragmas) wat as piëzoresistiewe sensors gebruik word, is hoofsaaklik silikonwafels en germaniumwafers. Silikon piëzoresistiewe sensors gemaak van silikonwafels as sensitiewe materiale het al hoe meer aandag getrek, veral die soliede piëzoresistiewe sensors vir die meet van druk en spoed word die algemeenste gebruik.