Struktuur van piëzoresistiewe sensor

In hierdie sensor word die weerstandstrook geïntegreer op die monokristallyne silikon -diafragma deur integrasieproses om 'n silikon -piëzoresistiewe skyfie te maak, en die omtrek van hierdie chip word vasgemaak in die dop, en die elektrode -leidrade word gelei. Piëzoresistiewe druksensor, ook bekend as 'n vaste-toestand-druksensor, verskil van die gom van die gom, wat die eksterne krag indirek deur elastiese sensitiewe elemente moet voel, maar die gemete druk direk deur silikondiembriewe voel.

Die een kant van die silikon-diafragma is 'n hoë drukholte wat met die gemete druk kommunikeer, en die ander kant is 'n lae drukholte wat met die atmosfeer kommunikeer. Oor die algemeen is die silikon -diafragma ontwerp as 'n sirkel met 'n vaste periferie, en die verhouding van deursnee tot dikte is ongeveer 20 ~ 60. Vier P -onreinheidsweerstandstroke word plaaslik versprei op die sirkelvormige silikon -diafragma en is in 'n volledige brug gekoppel, waarvan twee in die kompressiewe spanningsone is, en die ander twee in die tjifragmsone is, wat simmetries is met respek tot die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die sentrum van die middelpunt.

Daarbenewens is daar ook vierkantige silikon -diafragma en silikonkolomsensor. Die silikon -silindriese sensor is ook van weerstandstroke gemaak deur diffusie in 'n sekere rigting van 'n kristalvlak van die silikonkilinder, en twee trekspanningsweerstandsstroke en twee kompressie -stresweerstandige stroke vorm 'n volledige brug.

Piëzoresistiewe sensor is 'n apparaat wat gemaak word deur diffusie -weerstand op die substraat van halfgeleiermateriaal volgens die piëzoresistiewe effek van halfgeleiermateriaal. Die substraat kan direk as 'n meetsensor gebruik word, en die diffusieweerstand word in die substraat in die vorm van 'n brug gekoppel.

As die substraat deur eksterne krag vervorm word, sal die weerstandswaardes verander en sal die brug ooreenstemmende ongebalanseerde uitset lewer. Die substraat (of diafragma's) wat as piëzoresistiewe sensors gebruik word, is hoofsaaklik silikonwafels en germaniumwafels. Silikon-piëzoresistiewe sensors van silikonwafels as sensitiewe materiale het al hoe meer aandag getrek, veral die piëzoresistiewe sensors van vaste toestand vir die meet van druk en snelheid is die meeste gebruik.